【真空腔体】真空腔体加工的检漏方法

　　真空腔体加工检漏主要有三种：氦质谱检漏，真空封泥检测法，真空计检漏法。

　　一、氦质谱检漏

　　在真空检漏中有许多使用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由分析器、离子源、分析器、冷阴极电离规、收集器组成的质谱室和抽气体系及电气等部分组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振动，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互磕碰使其电离成正离子，这些氦离子在加快电场效果下进入磁场，在洛伦兹力的效果下偏转，进而形成了圆弧形轨道，改变加快电压可使不同离子经过磁场和接纳缝到达接纳极而被检测到。其间呢，喷氦法和吸氦法是氦质谱检漏常用的两种办法。

　　二、真空封泥检测法

　　用真空泥封住可疑的漏点，此时要注意观察真空度的变化，如果贴上真空泥之后真空度上升较快，拿掉之后又会下降，这说明便是一个漏点哦。但是，这个办法在实践检测中用的比较少。

　　三、真空计检漏法

　　部分真空计的读数与气体种类有关，例如电离真空计，热偶计。用气体或许液体做示漏物质，这些真空计就成了探测器，一般镀膜机上都会有真空计，在实践使用中也是比较常用的检漏办法。热偶计的示漏物质有二氧化碳，丁烷，酒精等，热偶计的反响比较慢，要仔细观察。用于电离计的示漏物质主要有氦，氩，酒精等。