【kf真空法兰】等离子体测试实验装置真空腔体设计

来源：http://www.jmzkkj.com发布时间：2019-07-18

【kf真空法兰】等离子体测试实验装置真空腔体设计
离子源是电磁分离器的核心部分,离子源在实验过程中,会释放气体用于电离、产生离子束。真空室的真空度需维持在(1~4)×10-3　Pa。由于真空环境是用于研制离子源的等离子体实验测试装置所必需的,因此,需要配备一套真空腔体。1　材料选取由于实验涉及施加磁场,真空腔体的材质必须具有无磁特性。常用的无磁材料为铜、铝和不锈钢。铜、铝的强度和刚度相比不锈钢要差,不适于制作大真空腔体。综上考虑,选用无磁不锈钢作为真空腔体的加工材料。2　功能设计开展离子源实验的真空腔体必须实现如下功能:模拟电磁分离器的工作环境,具有稳定的真空度,具备测量束流参数的功能,同时具备多个观察窗,可实时监测离子源放电情况。1)离子源的束流具有较大的张角为实现束流测量功能,真空腔体的横截面必须大到足够容纳束流。在实验时,离子束的张角有可能会超过±14.5°。由于二级磁铁的尺寸为550mm,所以束流传输长度至少应大于550mm,本文取1　000 mm,则对应的束截面宽度为。



各种射频、惯性、机械谐振器等MEMS器件通常在高真空环境下才能保证优良的性能和较高的品质因数，因而需要进行真空封装。本文提出采用真空电阻熔焊来实现MEMS器件真空封装的新方法。通过理论、数值模拟、实验等方法系统地研究了MEMS器件真空电阻封装过程中的关键技术问题，制定MEMS器件的真空电阻熔焊封装的工艺标准。真空封装过程中需监测MEMS器件的真空度。本文采用石英晶振的谐振电阻随环境真空度变化而变化的原理实现了MEMS器件小体积内的真空度测量，并深入研究了各种影响真空度测量的因素。